터널건조기
설비는 화학동, 에칭, 현상 후 적용되는 터널건조기
응용분야
ICS, Glass substrate/Glass Core
특징 및 우세
1. 3점식 그립 방식으로 휨 최소화
2. 스테퍼식 구동 시스템으로 오븐 내 이물질 발생 최대 방지
3. 클램프 스프링 클립 실시간 모니터링
4. IR 경화, UV 경화
5. 온도제어 ±2℃ 고효율 안정성, 건조 균일성 향상기술사양
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기판 사이즈 |
410*510~513*623mm · 제작 가능 |
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기판두께 |
0.035 ~2.0mm |
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CAPA |
≤ 17s/매 |
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무게 |
≤ 2kg |
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온도 |
≤ 180℃±3℃/ 60min |
| 히터 | PIN Heater(60Kw, 186Kw) |
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UV Lamp |
Metal halide lamp |
| UV 에너지 | 2000mj / cm² |
